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AXIS ULTRA DLD X-射线光电子能谱仪
 
发布时间:2017-10-25 发布者: 字体<    >

型   号:AXIS ULTRA DLD

 

生产厂家:英国Kratos公司

 

购置时间:2012年7月

联系人:严文君

主要技术指标:

   1.Al Kα单色化XPS

    射线源类型:水冷Al靶射线源;

    能量分辨(Ag3d5/2):0.48eV@400kcps;

   2.Al Kα/Mg Kα双阳极XPS

    射线源类型:水冷Al/Mg双阳极靶射线源;

    功率:450W;

   3.荷电中和器

    类型:全自动单电子源同轴荷电中和器;

    能量分辨率(PET 上O-C=O的C 1s):0.68eV@16Kcps;

   4.能量分析器和检测器

    类型:a)半球扇形分析器,用于XPS、ISS、UPS和AES采谱;

       b)同心球面分析器,用于平行成像XPS;

    检测器:多通道板(MCP)和延迟线检测器(DLD);

     采谱模式:a)宽/窄扫描谱;

          b)快照采谱(利用DLD的特性);

          c)从图得谱(利用DLD的特性);

     成像模式:a)空间分辨率优于3µm的快速平行成像;

          b)空间分辨率15µm和27µm的扫描成像;

  5.分析室冷热台和预处理室冷热台

    加热:室温~600℃连续可调,可保恒温;

    致冷:室温~-150℃连续可调,可保恒温。

   6.预处理室用离子枪

    离子能量:~2000eV;

    束斑大小:大面积;

   7.石英高温催化反应池

    构成:惰性石英反应釜;

    最高温度和压力:1000℃@1bar;600℃@4bar;400℃@6bar;

主要用途:

   1.固体样品的表面元素定性和定量分析,同时进行元素化学价态分析

   2.配合氩离子刻蚀方式和角分辨技术,可以进行材料的深度分析和界面分析

   3.仪器配有原位反应池,可对样品进行原位分析。

 

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