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JSM-7001F热场发射扫描电子显微镜
 
发布时间:2018-09-11 发布者: 字体<    >

仪器型号:JSM-7001FQX200EDS)、X-Trace(μ-XRF

生产厂家:日本电子、德国布鲁克(EDSμ-XRF

购进日期:20123月、20187月(μ-XRF

联系人:师晶

主要技术指标:

分辨率:1.2nm at 30kV; 3.0nm at 1kV

放大倍数:10-50万倍

加速电压:0.5kV-30kV

大束流高分辨:5nAWD10mm,15kV时分辨率3.0nm

束流强度:1pA200nA

EDSMn元素Ka分辨率≤123eV

EDS:最大输出计数率达400,000cps

μ-XRFX射线光管参数  电压50 kV,电流600 μA

μ-XRF:分析元素范围Na (11)-Am (95)

μ-XRF:元素检测限10 ppm-100 ppm,依元素种类而定

μ-XRF:束斑尺寸≤ 35μm

主要用途:

扫描电镜具备制样简单、放大倍数可调范围宽、图像的分辨率高、景深大等特点,广泛应用于冶金、机械、陶瓷、化工、半导体、电子器件、纺织、生物学等行业领域。在观察样品形貌的同时,配合能谱仪和微区荧光光谱仪可对感兴趣的微区(点、线、面)实现多种常量、微量元素直接定性、半定量和无损分析。

 

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